ES612 HBM（HMM,MM）測試儀是一款2管腳測試儀，為晶圓、封裝、PCB和系統(tǒng)級ESD測試而設計。該測試儀的波形可以符合HBM，HMM和MM 的相關ESD標準。測試儀上的DC特性測試端口，可搭配數(shù)字源表等DC測試設備，較為輕松的幫助確定ESD損傷閾值。ES612 ESD測試儀可搭配多管腳自動化測試儀進行應用擴展，也可用作器件質檢規(guī)范流程的一步。

產(chǎn)品型號：ES612
廠商性質：代理商
更新時間：2024-08-13
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詳細介紹

1.說明

ES612 HBM（HMM,MM）測試儀的脈沖源設計和注入方法能夠確保被測器件端的波形表現(xiàn)。該設備內置的電流探頭自動抓取脈沖注入時的波形，為數(shù)據(jù)分析提供可靠依據(jù)。此外，電壓波形也可通過選配的電壓探頭連接示波器進行抓取。由于該設備還可擴展進行ESD波形注入前后的DC特性檢測，因此可進行ESD事件的損傷判定。

2.特點

低寄生參數(shù)，具有高質量脈沖
可定制，可擴展
可搭配探針臺進行晶圓級測試
外置可選配的自動故障檢測模塊
觸摸控制面板
可固件升級
可選配的自動化脈沖注入和故障測量軟件
可選配的脈沖IV和DC IV表征功能

3.ES612 HBM（HMM,MM）測試儀應用

用于晶圓、封裝、PCB和系統(tǒng)級器件的通用ESD測試
HBM模塊符合ANSI / ESDA / JEDEC JS-001-2014
HMM模塊符合ANSI / ESD SP5.6-2009
MM模塊符合ANSI / ESD STM5.2-2012

4.規(guī)格

ES612 控制主機

參數(shù)	ES612-2K	ES612-8K	ES612-12K	ES612-20K	單位
輸出電壓	± 10 ~ 2000	± 10 ~ 8000	± 10 ~ 12000	± 10 ~ 20000	V
小輸出電壓步長	1V (500V以內) 10V (2 kV以內)	1V (500V以內) 10V (8 kV以內)	1V (500V以內) 10V (12 kV以內)	1V (500V以內) 10V (20 kV以內)	V, kV
輸出電壓精度	± 1 % 或 ± 5 V				%
尺寸	347 X 300 X 145				mm
重量	5	6	6	7	kg
電壓、電流測量	電壓、電流測量無源探頭
支持的示波器	Keysight， Tektronix，Lecory主流型號示波器
支持的SMU	Keithley 24xx/26xx 系列